多孔質基板上への酸化物薄膜及びその作製方法

根岸 秀之
柳下 宏
大島 徳夫
原谷 賢治
榊 啓二
池上 徹

特願2005-237849

特開2007-050358

https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903089755118911
http://jglobal.jst.go.jp/public/200903089755118911

A142000000

独立行政法人産業技術総合研究所